唐、宋，名疊溪堡。

清為重要關隘。

道光元年（1821年），建場。

光緒十年（1884年），屬安縣北鄉一甲。

宣統二年（1910年），屬浮泉鄉。

民國十七年（1928年），屬安縣第十六區。

民國二十四年（1935年），屬安縣一轄區。

1950年，設鄉。

1952年，劃歸北川縣。

1958年6月，劃歸安縣；同年10月，改為茶坪公社。

1983年，公社改鄉。

2002年8月，改為千佛鎮。

2016年4月，國務院下發《國務院關于同意四川省調整綿陽市部分行政區劃的批復》：同意撤銷安縣，設立綿陽市安州區，以原安縣的行政區域為安州區的行政區域，千佛鎮改屬安州區。