夏、商時代,縣域屬冀州;春秋、戰國時屬燕地;西漢、東漢時屬幽州漁陽郡路縣(后改潞縣)地;唐開元四年(716)析幽州潞縣東部置三河縣,從此縣域大部屬三河縣地;1952年10月,在回族聚居的三河縣三、四區建立三河縣大廠回族自治區;1955年在三河縣大廠回族自治區的基礎上建立大廠回族自治縣,轄17個鄉、75個村,隸屬河北省通縣專區;1958年年底并入薊縣,稱薊縣大廠回族自治區人民公社,屬唐山專區;1961年7月屬天津專區;1962年,恢復縣建制,下轄6個人民公社,104個村;1972年,增加1個村,為105個行政村,自此行政區域固定;1974年1月,天津地區改為廊坊地區;1984年3月,改社為鄉鎮后,全縣有2鎮,4鄉;1996年4月28日,撤銷王必屯鄉,并入大廠鎮;2006年撤銷祁各莊鄉,建祁各莊鎮;2006年至今,全縣轄大廠鎮、夏墊鎮、祁各莊鎮、陳府鎮、邵府鎮5個鎮和一個北辰街道辦事處,共105個行政村和10個居民委員會至今。